（1）氣相清洗槽由槽體，加熱器，冷凝器，通風裝置，噴射清洗裝置，工件傳送裝置等組成，見圖58-3。

氣相清洗可以分別與浸洗或噴洗組合使用，組成氣一浸組合清洗裝置或一噴組合清洗裝置。

（2）超聲波清洗裝置，超聲波清洗裝置的三大組成部分分別為超聲波發(fā)生器、換能器和超聲波清洗槽。圖58-4為微型工件半自動超聲波清洗機示意圖。

（3）將多個超聲波清洗槽組合，可以實現(xiàn)多步清洗，工件經多步清洗后可以達到很高的清潔度。工件在各個超聲波清洗槽內實現(xiàn)自動轉送，形成超聲波多步清洗生產線。